بطاقة فلتر أشباه الموصلات هي عنصر تصفية عالي النقاء يستخدم في تصنيع أشباه الموصلات والعمليات الإلكترونية ذات الصلة. على عكس المرشحات الصناعية القياسية ،مرشحات أشباه الموصلات مصممة ليس فقط لإزالة الجسيمات، ولكن أيضا للحد من مخاطر التلوث من المواد المستخرجة، أيونات المعادن، والبقايا العضوية، والألياف، وتسرب المواد.
في إنتاج أشباه الموصلات، حتى الجسيمات الصغيرة جدا أو آثار الملوثات يمكن أن تؤثر على إنتاج رقاقة، ونظافة السطح، واستقرار العملية.التصفية جزء أساسي من مكافحة التلوث في مواد الكيميائية في العملية الرطبةالمياه النقية جداً، المقاومة للضوء، حديد CMP، المذيبات، الغازات، وغيرها من الأنظمة عالية النقاء.
تقدم Pullner حلول غطاء المرشحات لالتطبيقات ذات النقاء العالي والتي تتعلق بالشاشات نصف الموصلة، مما يساعد العملاء على اختيار مواد المرشح المناسبة، ودقة التصفية، والبنية،وأنواع الاتصالات وفقًا لظروف العملية الحقيقية.
يعد اختيار المواد أحد أهم العوامل في تصفية أشباه الموصلات. تتطلب المواد الكيميائية المختلفة ودرجات الحرارة ومعدلات التدفق ومتطلبات النظافة وسائل تصفية مختلفة.
في العديد من أنظمة أشباه الموصلات ، لا تستخدم المرشحات بمفردها. يمكن أن يجمع تصميم الترشيح المعقول بين المرشحات المسبقة والمرشحات الوسيطة والمرشحات النهائية للحد من حمولة الجسيمات ،حماية المرشحات النهائية باهظة الثمن، والحفاظ على أداء عملية مستقرة.
دقة التصفية لخرطوشات فلتر أشباه الموصلات عادة ما تكون أكثر صرامة بكثير من تصفية الصناعة العامة.يمكن أن تتراوح تصنيفات المرشحات من مستوى الميكرون إلى مستوى ما دون الميكرون، مثل 0.45 ميكرومتر، 0.2 ميكرومتر، 0.1 ميكرومتر، 0.05 ميكرومتر، أو حتى أكثر دقة.
ومع ذلك، فإن اختيار مرشح أشباه الموصلات لا يتعلق فقط باختيار تصنيف ميكرون أصغر. المرشح الذي هو رقيق جدا قد يسبب انخفاض ضغط مفرط، معدل تدفق غير كاف،أو عمر خدمة أقصرالمرشح الذي هو ضخم جدا قد لا توفر كافية التحكم في الجسيمات.
تشمل مؤشرات الأداء الهامة:
بالنسبة للتطبيقات عالية النقاء، غالبا ما يفضل المرشحات ذات القيمة المطلقة لأنها توفر أداء احتباس الجسيمات الأكثر موثوقية.يمكن لعملاء أشباه الموصلات أيضا الانتباه إلى بيانات الاختبار، ويمكن تعقبها، وأداء الشطف، والتوافق مع مواد كيميائية محددة.
يستخدم الماء النقي على نطاق واسع لتنظيف الأقراص والشطف وإعداد العملية. تساعد المرشحات في أنظمة UPW في إزالة الجسيمات الدقيقة وحماية خطوط التوزيع في الأسفل.منذ UPW لديها متطلبات عالية للغاية النظافة، يجب أن تكون مواد المرشحات منخفضة المستخرجات وأداء نظافة مستقر.
المواد الكيميائية الرطبة مثل الأحماض والقليات ومحلولات الحفر ومحلولات التنظيف والمذيبات تتطلب مرشحات ذات مقاومة كيميائية قوية.وغالبا ما تستخدم مواد UPE اعتمادا على النوع الكيميائي وظروف التشغيل.
الهدف الرئيسي هو إزالة الجسيمات ومنع التلوث أثناء التسليم والتداول الكيميائي.
![]()
تتطلب تصفية المقاومة للضوء تحكمًا دقيقًا جدًا في الجسيمات والجيل. يمكن أن تؤثر العيوب الناجمة عن الجسيمات أو الجيلات أو الملوثات الدقيقة بشكل مباشر على جودة التصوير الحجري.المرشحات المستخدمة في هذه التطبيقات تحتاج إلى نظافة ممتازة، انخفاض امتصاص، والاحتفاظ المستقر للجسيمات الدقيقة.
تصفية السماد CMP أكثر تعقيدًا لأن السماد نفسه يحتوي على جزيئات مطحنة وظيفية.يجب على المرشح إزالة الجزيئات الضخمة والتجمعات دون إزالة مكونات السماد المفيدةلذلك، هيكل المرشح، تصميم المسام، وخصائص التدفق مهمة جدا.
يتم استخدام تصفية الغاز عالية النقاء لإزالة الجسيمات وحماية أدوات العملية.PTFE وغيرها من مواد الغشاء المناسبة تستخدم عادة في تصفية الغاز بسبب مقاومة الكيماويات وأداء الاحتفاظ بالجزيئات.
بالنسبة لعملاء أشباه الموصلات، فإن المرشح الأكثر ملاءمة ليس دائماً الأكثر تكلفة أو الأفضل. يجب أن يستند الاختيار الصحيح إلى متطلبات العملية الحقيقية.
مع استمرار تصنيع أشباه الموصلات في التحرك نحو أحجام أجزاء أصغر وتكامل أعلى ، ستصبح متطلبات مكافحة التلوث أكثر صرامة.هذا يخلق متطلبات تقنية أعلى لخرطوشات فلتر أشباه الموصلات.
في المستقبل، سوف تتطور تصفية أشباه الموصلات نحو عدة اتجاهات.
تولنر يوفر حلول غطاء تصفية للتطبيقات المتعلقة بالأشباه الموصلات، بما في ذلك المواد الكيميائية عالية النقاء، المياه فائقة النقاء، المذيبات، الغازات، تصفية المياه من قبلوسوائل العمليات الإلكترونية.
المواد المتاحة تشمل PTFE ، PFA ، UPE ، PES ، PP ، Nylon ، PVDF ، ووسائط المرشح الأخرى وفقًا لمتطلبات التطبيق. يمكن أن يدعم Pullner اختيار المرشح بناءً على سائل العملية ،دقة التصفية، معدل التدفق، ضغط التشغيل، درجة الحرارة، نموذج المرشح الحالي، الرسومات، أو العينات.
بالنسبة للعملاء الذين يواجهون تلوث الجسيمات ، وقصير عمر الفلتر ، وارتفاع تكلفة الاستبدال ، واستبدال الفلتر المستورد ، أو عدم استقرار أداء التصفية ،Pullner يمكن أن تساعد في تحليل العملية وتوصية حل تصفية مناسبة.
إن خرطوشات المرشحات شبه الموصلة هي مكونات حاسمة في أنظمة التصنيع عالية النقاء. قيمتها لا تقتصر على إزالة الجسيمات. كما أنها تساعد على السيطرة على التلوث،حماية أدوات العملية، تحسين استقرار الإنتاج، ودعم إنتاج المنتجات.
عند اختيار مرشحات أشباه الموصلات ، يجب على العملاء النظر في وسائل التصفية ، وتصنيف الميكرون ، والتوافق الكيميائي ، والنظافة ، وانخفاض الضغط ، ومدة الخدمة ، وتصميم النظام معًا.
تلتزم شركة Pullner بتوفير حلول موثوقة وفعالة من حيث التكلفة ومخصصة لخرطوشات المرشحات شبه الموصلة للعملاء العالميين.
لمعرفة المزيد عن خرطوشات فلتر نصف الموصلات بولنر وحلول التصفية عالية النقاء، يرجى زيارةwww.pullnerfilter.com.
اتصل شخص: Miss. Lucy
الهاتف :: 86-21-57718597
الفاكس: 86-021-57711314